功能性校準(zhǔn)片通過(guò)專業(yè)技術(shù)將多個(gè)傳感器模塊集成到晶圓上，能夠快速測(cè)量加速度、振動(dòng)、水平、調(diào)平角度、濕度、溫度、定位、壓力、間隙、抑振等參數(shù)，加速設(shè)備驗(yàn)證，幫助提高半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備的調(diào)試效率，縮短設(shè)備維護(hù)周期，降低設(shè)備維護(hù)費(fèi)用。