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      RTP快速退火
      

      RTP（Rapid Thermal Processing）快速熱處理，是在非常短的時間內(nèi)將整個硅片加熱至400~1300℃溫度范圍內(nèi)的一種方法，相對于爐管退火，它具有熱預(yù)算少，硅中雜質(zhì)運動小，玷污小和加工時間短等特點。
      


      適用產(chǎn)品：TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)
              
      
    
      

      

          
      
     
    
      

      

                        
      
                                                
                        
                        
                                            
      
                
      
                            
      
        
              
                  
                    
    
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