晶圓頂針、機械手等
晶圓頂針、晶圓自動化搬運機械手、晶圓校準設備、濺射、設備調試、生產過程監控、晶圓載盒、FOUP、裝載鎖、工藝腔底座、晶圓裝載與檢測集成裝置。
適用產品是：AMS 晶圓型多功能測試片、ATS晶圓型中心校準片、AVS 晶圓型振動量測片、ALS 晶圓型水平校準片、AVLS 晶圓型振動水平測量校準片
