天車/晶圓傳輸檢測
天車傳輸全稱“空中懸掛式無人搬送車”,用來把半導體晶圓載具從生產機臺吊上、降下并傳送,實現晶圓在生產工序間精準高效流轉。天車是自動物料搬運系統(AMHS)的核心搬運設備之一。
晶圓傳輸設備的核心部件主要包括晶圓裝載裝置、晶圓運輸機械手(Robot)、晶圓預對準機構(Pre-Aligner)和空氣過濾器(FFU)。在整個生產線上完成晶圓的分類、預對準和傳輸等功能,是連接物料搬運系統與晶圓處理系統的橋梁,是晶圓生產線不可或缺的重要組成部分。
適用產品:AMS 晶圓型多功能測試片、AVLS 晶圓型振動水平測量校準片