涂膠顯影/探針臺測溫
涂膠顯影設備是半導體制造光刻工藝中的關鍵設備，主要用于半導體光刻工藝中的光刻膠涂布和顯影過程。根據不同的應用需求，涂膠顯影設備可以劃分為前道涂膠顯影設備和后道涂膠顯影設備，前道用于晶圓制造前道工藝，后道用于封裝環節中的相關工序。
探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試, 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
適用產品：TC Wafer晶圓測溫系統、On Wafer WHS無線晶圓測溫系統、RTD Wafer晶圓測溫系統
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