【快速退火爐】的硬件更換

【快速退火爐】采用先進微電腦控制技術和PID閉環控溫，可以達到比較高的控溫精確度溫度均勻性，還可根據客戶工藝標準配置真空室或多路氣體。

快速退火爐使用鹵素紅外線燈作為熱源，利用較快的升溫速度將晶圓或材料迅速加熱至300°C-1200°C，進而解決晶圓或材料的一部分缺陷，提高了產品特性。

快速退火爐（芯片熱處理設備）廣泛應用于IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導體、功率器件等各種芯片產品的生產，以及歐姆接觸的快速合金化、離子注入退火、氧化物生長、應力浮雕在致密化、致密化等工藝中，使用快速熱處理來改善晶體結構和光電性能，主要技術指標高，工藝復雜，特異性強。

【快速退火爐】硬件進行更換

1、加熱燈進行更換：加熱燈超出使用期限或不亮要更換新的。加熱燈使用期限為3000h，高溫環境它的使用壽命也會降低。

2、真空泵油進行更換：使用過程中，請每季度觀察一次真空油表。當油量表顯示油量小于1/3時，請將真空泵潤滑油加到油量表的一半以上。

3、熱電偶進行更換：測溫異常或損壞時就需要換熱電偶。熱電偶正常使用壽命為3個月，它的使用壽命因外部環境因素而縮減。

4、進行更換O型圈：O型圈表面是明顯嚴重損壞不能密封時，就需要換O型圈。它的使用壽命受外力和溫度條件的限制。