【無線晶圓測溫系統(tǒng)】是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中的測溫技術(shù)，通過無線通信技術(shù)實(shí)現(xiàn)晶圓與測試設(shè)備之間的數(shù)據(jù)傳輸，從而提供靈活的測試方案。具體來說，這種系統(tǒng)通常包含溫度傳感器、無線傳輸模塊以及數(shù)據(jù)處理與存儲(chǔ)模塊。
溫度傳感器被安裝在需要監(jiān)測溫度的晶圓上，利用感溫元件對晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)感知，并將采集到的溫度數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為電信號。這些電信號隨后通過無線傳輸模塊，如Wi-Fi、藍(lán)牙或LoRa等無線通信技術(shù)，被發(fā)送到系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集節(jié)點(diǎn)或中央控制器。【無線晶圓測溫系統(tǒng)】
在數(shù)據(jù)采集節(jié)點(diǎn)或中央控制器接收到溫度數(shù)據(jù)后，會(huì)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和存儲(chǔ)。這些數(shù)據(jù)可以實(shí)時(shí)顯示在監(jiān)控界面上，供操作人員實(shí)時(shí)了解晶圓表面的溫度變化，以便及時(shí)調(diào)整制程參數(shù)，優(yōu)化制程，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。同時(shí)，這些數(shù)據(jù)也可以存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫中，供后續(xù)分析和管理使用。
無線晶圓測溫系統(tǒng)具有實(shí)時(shí)監(jiān)測、無損測量和數(shù)據(jù)分析等優(yōu)勢，可以在不影響制程的情況下，提供晶圓表面溫度的準(zhǔn)確測量。它在半導(dǎo)體制造過程中的蝕刻、雕刻、擴(kuò)散、離子注入等關(guān)鍵步驟中都有重要的應(yīng)用，有助于確保這些過程的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。【無線晶圓測溫系統(tǒng)】
然而，【無線晶圓測溫系統(tǒng)】也存在一些缺點(diǎn)，如價(jià)格較高、穩(wěn)定性較低以及易受環(huán)境干擾和電磁波干擾等。因此，在實(shí)際應(yīng)用中，需要根據(jù)具體需求和工作場景來綜合考慮使用問題。
