【晶圓測溫系統(tǒng)?】藍色寶石晶片退火的方式

藍色寶石晶片退火的方式藍寶石晶體(Al2O3)是超高亮度的藍、白光LED發(fā)光材料GaN常用的襯底材質(zhì)，而GaN嘉晶的晶體質(zhì)量與所使用的監(jiān)寶石襯底(基板)表面加工質(zhì)量密切相關(guān)，尤其是圖形化襯底(PSS)與晶片的表面形貌、翹曲程度聯(lián)系密切，與此同時，晶片的翹曲程度過大，會到平片做GaN磊晶時，平片與外延薄膜脫落，PSS難以聚焦，影響外延品質(zhì)。在藍寶石襯底的切害I]、雙面研磨以及單面研磨、拋光過程中，雖然部份的加工應(yīng)力會到下一道加工工序釋放出來，但這種應(yīng)力釋放是無序釋放出來，與此同時未釋放出來的加工應(yīng)力會到晶片表面集聚，【晶圓測溫系統(tǒng)】影響藍色寶石晶片的翹曲程度，嚴重的翹曲會到后道加工過程產(chǎn)生破片，影響整個加工循環(huán)的晶片質(zhì)量。藍寶石襯底在加工過程中，需要經(jīng)過退火處理以降低加工應(yīng)力，當(dāng)前的退火工藝采用一步升溫至退火溫度，沒有經(jīng)過過程保溫，加工應(yīng)力釋放不均勻，且藍色寶石晶片在退火爐中始終不動，爐子的溫度場對加工釋放出來均勻性影響較大，對大尺寸的藍色寶石晶片影響更為明顯。【晶圓測溫系統(tǒng)】

【晶圓測溫系統(tǒng)】要解決的技術(shù)問題是提出一種高質(zhì)量的藍色寶石晶片退火方法，適用于對藍色寶石切割片、雙面研磨片、單片研磨片和拋光片。該發(fā)明可以使得藍色寶石在切割、研磨和拋光中產(chǎn)生的加工應(yīng)力釋放均勻、充分，可以減小溫度場對加工應(yīng)力釋放的影響。本發(fā)明所使用的技術(shù)方案為一種藍色寶石晶片的退火方法，在退火過程中，分階段升溫、保溫，并在退火過程中，適度旋轉(zhuǎn)藍色寶石晶片，該方法使得藍色寶石在切割、研磨和拋光中產(chǎn)生的加工應(yīng)力釋放均勻、充分，可以減小溫度場對加工應(yīng)力釋放的影響。