廣東瑞樂科技專注于高精度溫測、溫控設備的生產和研發定做，為半導體行業提供科學的國產解決方法，更多有關快速退火爐 ?TC Wafer??晶圓測溫系統資訊請關注瑞樂官網。
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刻蝕設備RTD晶圓測溫系統（RTDWafer）
RTD WAFER TEMPERATURE MEASUREMENT
SYSTEM FOR ETCHING EQUIPMENT
Thermo-349R【晶圓測溫系統】
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Thermo-349R系列RTD晶圓溫度測量系統，可用于8-12英寸晶圓配置，記錄等離子刻蝕工藝環境對真實工藝條件下生產晶圓的影響。Thermo-349R溫度測量系統包含高精度溫度傳感器，能夠實現晶圓整體溫度監測，而這與半導體刻蝕工藝的均勻性控制密切相關。配合TCWafer溫度數據讀取適配的多功能儀器。內含軟件可以讀取TCWafer測溫數據并進行分析。
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產品特點
傳輸通道數量可定制；
優異的軟件功能,可用圖形及顏色顯示溫度分布狀況；
數據可儲存調用；
可提供各個量溫點的溫度曲線圖及溫度剖面圖。【晶圓測溫系統】
廣東瑞樂科技專注于高精度溫測、溫控設備的生產和研發定做，為半導體行業提供科學的國產解決方法，更多有關快速退火爐 ?TC Wafer??晶圓測溫系統資訊請關注瑞樂官網。
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